編號(hào)

項(xiàng)目

S48 W/HMT

1

流量規(guī)格

小10mL/min;
大50L/min

2

調(diào)節(jié)閥類型

電磁調(diào)節(jié)閥

3

調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)

常閉

4

安裝角度

任意

5

流量控制范圍

2%～100%

6

準(zhǔn)確度

±1.0% S.P.(≥30% F.S.)
±0.30% F.S.(＜30% F.S.)

7

線性

±0.5%F.S.

8

重復(fù)精度

±0.2%F.S.

9

工作壓差范圍

(0.05~0.3)MPa(<10L/min);
(0.1~0.3)MPa(10~50)L/min

10

耐壓

3MPa

11

工作環(huán)境溫度

5℃~45℃

12

精度保證溫度

15℃~35℃

13

接觸氣體材料

316L,Viton®,PTFE,或其他

14

漏率

＜1×10-8Pa·m3/s

15

接頭

Swagelok:Φ6mm,1/4″
VCR:1/4″或其他

16

輸入信號(hào)

數(shù)字l:RS485

17

輸出信號(hào)

數(shù)字l:RS485

18

通訊接口

數(shù)字:RS485
波特率:4800/9600/19200Bps
Modbus RTU協(xié)議從機(jī)Protocol slave
設(shè)備號(hào)可選范圍Selectable range of the device number0~15

19

供電電源

±15V(±2%)
(＋15V,100mA;－15V ,200mA)